普旭爪式泵都有哪些特點(diǎn)呢?你可知道?
更新時(shí)間:2020-06-24 瀏覽次數(shù):1098
普旭爪式泵廣泛應(yīng)用于航空航天、石油、化工、煉化、電子、制藥、冶金、核能源、油氣回收、特殊氣體制造等行業(yè),適用于真空蒸餾、分子蒸餾、真空鍍膜、抽提、重整、無(wú)泄漏氣體傳輸、真空制備材料等工藝,在普通大氣、富含水蒸氣、酒精、汽油、粉塵等特殊應(yīng)用環(huán)境都可工作。
普旭爪式泵是為半導(dǎo)體工業(yè)發(fā)展而研制的,它有如下特點(diǎn):
1)泵腔內(nèi)無(wú)潤(rùn)滑劑,因而無(wú)返油現(xiàn)象發(fā)生。
2)抽氣元件為非接觸式的可實(shí)現(xiàn)高速運(yùn)轉(zhuǎn)(3000r/min)。
3)與泵抽氣體接觸的表面防腐蝕耐磨損。
4)在泵腔內(nèi)氣流垂直運(yùn)動(dòng),少量的顆粒物和液體等在重力作用下易于排除。
5)該泵型式多樣,功能可以擴(kuò)展,泵的主體,帶有齒輪、馬達(dá)以及氣體凈化設(shè)備,附件有入口處防返流的閥門(mén),出口處有截流閥,電氣監(jiān)控及報(bào)警裝置。
6)齒輪和泵軸的下軸承用PFPE油潤(rùn)滑,上端蓋內(nèi)德軸承用PFPE油脂潤(rùn)滑。
7)第二、三、四級(jí)均有凈化入口,以改善被抽介質(zhì)順利通過(guò)泵腔,無(wú)此需要的可以不用通凈化氣體,凈化氣體用三個(gè)流量計(jì)分別調(diào)節(jié),相互都是獨(dú)立的,以保證節(jié)約惰性氣體,利用三個(gè)電磁閥可微調(diào)其流量。
8)入口防返流閥能將被抽容器與泵腔隔斷,出口處截流閥能將泵的出口封閉起來(lái),將泵通以?xún)艋瘹怏w,這些閥可自動(dòng)開(kāi)關(guān),真空系統(tǒng)有可靠得保護(hù),杜絕了向真空室的返流。
9)電氣監(jiān)控與操作,主要有電源,遠(yuǎn)距離操作和開(kāi)關(guān)閥等的控制。